Лазерная микрообработка материалов

СПб. : СПбГЭТУ ЛЭТИ, 2011. - 59 с.Учебное пособие посвящено рассмотрению важной области современных применений лазеров – лазерной микрообработке материалов. Содержит сведения о физических основах лазерной микрообработки и ее использовании в электронной
промышленности.
Предназначено для магистрантов, обучающихся по программам «Квантовая и оптическая электроника», «Солнечная гетероструктурная фотоэнергетика», для бакалавров, обучающихся по профилю «Квантовая и оптическая электроника», для специалистов и преподавателей вузов, повышающих квалификацию по программе «Тонкопленочная солнечная фотоэнергетика».
Подготовлено в рамках выполнения проекта по разработке и апробации программы опережающей профессиональной переподготовки и учебно-методического комплекса, ориентированных на инвестиционные проекты по производству солнечных модулей на базе технологии «тонких пленок» Oerlikon, финансируемого Фондом инфраструктурных и образовательных программ.